研磨液供系统(SDS)

本地研磨液供应系统 - Local Slurry Distribution System

产品名称

本地研磨液供应系统

Local Slurry Distribution System

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配置说明

 1、混料及供应桶: 120L*2(HDPE一次成型)

 2、供应泵*1(BPS600-2)

 3、循环功能

 4.、冷却功能

 5、在线浓度检测功能

 6、最大可供应CMP数量:5set

功能

 1、按照工艺要求自己精确配液。

 2、24小时不间断供应

制作工艺              

 1、设备尺寸:长170cm*宽90cm*高185cm

 2、预留维修空间:前:100cm 后:0cm 左:0 右:0cm 

                              上:60cm  下:15cm

 3、可根据需求定制设备尺寸

中央研磨液供应系统 - Central Slurry Distribution System

产品名称

研磨液体中央供应系统

Central Slurry Distribution System

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配置说明

 1、化学品原液200L*8

 2、原液供应泵*5

 3、过滤器,气液分离器,冷却。

 4、PH,比重,电导率,压力,在线浓度检测等功能

功能

 1、按照工艺要求不间断混液;

 2、自动判别混液结果; 

 3、24小时不间断供应

制作工艺              

 1、标准设备尺寸(原液):长360*宽160*高185cm

 2、标准设备尺寸(混料及供液):长400*宽180*高185cm

3、可根据需求定制设备尺寸

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